47F/15/FDIS:2009-01
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Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen